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カーボン製品 半導体をはじめ様々な産業で活躍 高純度黒鉛製品-高純度黒鉛製品
カーボン製品 半導体をはじめ様々な産業で活躍 高純度黒鉛製品-株式会社渡辺商行

カーボン製品 半導体をはじめ様々な産業で活躍 高純度黒鉛製品
株式会社渡辺商行

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この製品について

半導体をはじめ様々な産業で活躍。高密度/高純度な特殊炭素材料。SiC膜を被覆したClear Carbon。

■基本情報

高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン。金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。特に高純度黒鉛材料は、特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えており、シリコン単結晶引き上げ用ヒーター・ルツボ、液相エピタキシャル用ボートなど、半導体製造工程で幅広く使用されています。さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンはエピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。

■特徴

・半導体をはじめ様々な産業で利用 (特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています) ・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性 ・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性 ・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております ・Fine Grainコーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grainコーティングもございます

■用途

・クリアーカーボン (SiCコートグラファイト) サセプター、各種治具：Epi用 ・シリコン単結晶引き上げ用ヒーター/カーボンルツボ/輻射シールド ・液相エピタキシャル用ボート ・化合物半導体溶融用ルツボ

  • シリーズ

    カーボン製品 半導体をはじめ様々な産業で活躍 高純度黒鉛製品

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カーボン製品 半導体をはじめ様々な産業で活躍 高純度黒鉛製品 品番1件

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高純度黒鉛製品

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都
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