カーボン製品耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料ガラス状カーボン-ガラス状カーボン

カーボン製品耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料ガラス状カーボン
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この製品について

ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。

■基本情報ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。

■ガラス状カーボン共通の特徴・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵
・気体・液体の不透過性
・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) 
・高耐熱性、X線高透過性

■ガラス状カーボンビーズの特徴・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
・気孔のない緻密な等方性組織
・中心粒径100μm、200μm

■多孔質ガラス状カーボンの特徴・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する
・真空チャック用途などに使用実績あり

■主な用途・プラズマエッチング、CVD装置用部材
・スパッタリングターゲット
・高純度耐薬品性部材
・分析装置用部材
・X線機器用部材
・造孔材 (ガラス状カーボンビーズ) 
・フィラー (ガラス状カーボンビーズ) 
・真空チャック用部材 (多孔質ガラス状カーボン) 
・各種フィルタ (多孔質ガラス状カーボン) 
・ガス拡散用部材 (多孔質ガラス状カーボン) 