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カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン-ガラス状カーボン
カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン-株式会社渡辺商行

カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン
株式会社渡辺商行

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この製品について

ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。

■基本情報

ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。

■ガラス状カーボン共通の特徴

・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) ・高耐熱性、X線高透過性

■ガラス状カーボンビーズの特徴

・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い ・気孔のない緻密な等方性組織 ・中心粒径100μm、200μm

■多孔質ガラス状カーボンの特徴

・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する ・真空チャック用途などに使用実績あり

■主な用途

・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材 (ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー (ガラス状カーボンビーズ) ・真空チャック用部材 (多孔質ガラス状カーボン) ・各種フィルタ (多孔質ガラス状カーボン) ・ガス拡散用部材 (多孔質ガラス状カーボン)

  • シリーズ

    カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン

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カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン 品番1件

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都
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