カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン
株式会社渡辺商行
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この製品について
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
■基本情報
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。■ガラス状カーボン共通の特徴
・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) ・高耐熱性、X線高透過性■ガラス状カーボンビーズの特徴
・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い ・気孔のない緻密な等方性組織 ・中心粒径100μm、200μm■多孔質ガラス状カーボンの特徴
・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する ・真空チャック用途などに使用実績あり■主な用途
・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材 (ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー (ガラス状カーボンビーズ) ・真空チャック用部材 (多孔質ガラス状カーボン) ・各種フィルタ (多孔質ガラス状カーボン) ・ガス拡散用部材 (多孔質ガラス状カーボン)-
シリーズ
カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン
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取扱企業
株式会社渡辺商行
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カテゴリ
カーボン製品 耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料 ガラス状カーボン 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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ガラス状カーボン |
要見積もり |
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