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周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10-PTFM-10
周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10-ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10
ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

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この製品について

■概要

・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子又はAT型水晶振動子の周波数を測定するウエハプローバーです。 ・ウエハの供給、大気中での周波数測定、ウエハ収納までを全自動で行います。

■特長

・装置型式:PTFM-10は音叉型水晶振動子の周波数をPFAの測定システムで測定します。装置型式:PWM-10はAT型水晶振動子の周波数とCI値をネットワークアナライザーで測定します。 ・多数個同時プロービングにより高速処理が可能です。 ・ローダ/アンローダにより自動搬送を実現しています。 ・プローブ自動クリーニング機構付き

■使用例

・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子又はAT型水晶振動子の周波数を測定する装置です。 ・装置型式:PTFM-10は音叉型水晶振動子の周波数をPFAの測定システムで測定します。 ・装置型式:PWM-10はAT型水晶振動子の周波数とCI値をネットワークアナライザーで測定します。

■オプション対応

専用治具交換より異なるウエハチップの複数品種対応

  • シリーズ

    周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10

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周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 型号 対象ワーク 対象ワークサイズ 同時測定数 部材供給 収納 外形寸法 オプション
周波数測定装置 ウエハプローバー PTFM-10-品番-PTFM-10

PTFM-10

要見積もり

PTFM-10

音叉型水晶振動子ウエハ (専用部品の交換により機種変更可能です。)

最大4インチウエハ

同時プロービング数 最大80チップ

・ローダ マガジンよりウエハ供給
・アンローダ ウエハをマガジン収納

W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く)

・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能
・専用治具交換より複数品種対応

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使用用途

#温度特性検査 #振動測定 #周波数標準 #水晶振動子測定 #電気特性検査 #監視 #パルス幅 #自動テストシステム #機械分析

測定方式

カウンタ方式 位相比較方式 時間間隔測定方式 FFT解析方式

信号対応範囲

低周波対応型 高周波対応型 超広帯域型

出力表示機能

デジタル表示型 アナログ表示型 波形表示型

特徴機能

周波数カウンタ付き リファレンス入力型 ロギング対応型 携帯型

最大周波数 GHz

1 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

周波数精度 ppm

0 - 0.1 0.1 - 0.3 0.3 - 0.5

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