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精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板) -吸着プレート (吸着板)
精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板) -東レ・プレシジョン株式会社

精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板)
東レ・プレシジョン株式会社



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この製品について

■微細孔と狭ピッチによる加工で吸着痕の少ない吸着プレート

フィルムや柔らかいシート状ワークの吸着固定には、シワ・吸着痕がなく、しっかり固定することが求められます。 東レ・プレシジョン製造の吸着プレートの特長は、①微細な孔の加工 ②孔を狭ピッチで配置 ③プレート面を高い平面度に仕上げることです。 これにより、薄いワークを歪みを抑制しつつ吸着固定することが可能です。生産ラインでの導入を想定したカスタマイズも可能です。 (孔径、孔の配置は、ご要望に応じます。)

■吸着プレートとは

吸着プレートとは薄い製品 (例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等) を吸着固定する治具・機器のことです。製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。 呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。

■東レ・プレシジョンの吸着プレートの特長

東レ・プレシジョンでは金属板に高精度な微細孔と位置精度で加工し、且つ、高い平面度で吸着面を仕上げるため、薄膜の製品を均一に吸着固定することが可能です。狭ピッチの加工が可能で、薄くてデリケートな製品への吸着痕やシワの発生を防ぎます。 ・高精度な微細孔と位置精度と高い平面度で均一に吸着固定が可能 ・製品への吸着痕やシワ対策が可能 ・オーダーメイドで吸着エリアを自由設計 ・目詰まりしても洗浄可能で、メンテナンスに優れる※1 ・製品の脱着応答 (ON/OFF) が速やか (多孔質吸着と比較して、エアーの圧損が小さく離型が容易) ・大きいワークサイズも対応可能  ・※1粘着剤などは除去できない場合があります。

■東レ・プレシジョンの吸着プレートの用途

・樹脂フィルムの固定 ・セラミックシートの固定 ・スクリーン印刷 ・ピックアップ&プレイスユニット ・ガラス基板の搬送での固定

  • シリーズ

    精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板)

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精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最小孔径 加工精度 最小ピッチ 位置精度 最大ワークサイズ 表面粗さ 適用材質
精密加工製品 プレート/シート 吸着プレート (吸着板) -品番-吸着プレート (吸着板)

吸着プレート (吸着板)

要見積もり

Φ15~20μm

孔径±10%~ ※サイズ・材質・孔径により異なります

0.3mm

±10μm以下

800×800mm

吸着・離型の要望により異なります

金属全般、その他

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

東レ・プレシジョン株式会社は、ノズル、ダイ、プレート、光学検査といった部品や、導光板や拡散板といった金型、トレフィーダなどの製造・販売をしている会社です。 1955年に創業し、紡糸用口金の製造技術を強みとして、半導体業...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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