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18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。半導体デバイスの故障解析。 EBIC・EBACイメージングシステム-EBIC・EBACイメージングシステム
18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。半導体デバイスの故障解析。 EBIC・EBACイメージングシステム-株式会社東京インスツルメンツ

18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。半導体デバイスの故障解析。 EBIC・EBACイメージングシステム
株式会社東京インスツルメンツ

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■概要

本装置は、既存の走査型電子顕微鏡 (SEM) と組み合わせ、試料やデバイスに電子ビームを照射して得られるEBIC (Electron Beam Induced Current/電子線誘起電流) を測定し、半導体材料の結晶欠陥やデバイスの局所的な電気的特性を評価することができます。材料の欠陥箇所ではこの誘起電流は減少するため、欠陥は暗いコントラストとして識別されSEM像と比較することにより欠陥箇所の特定が可能です。

  • シリーズ

    18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。半導体デバイスの故障解析。 EBIC・EBACイメージングシステム

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18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。半導体デバイスの故障解析。 EBIC・EBACイメージングシステム 品番1件

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