高真空・特殊ガス用機器真空圧力制御システム IAVB
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この製品について

■概要従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

■スロー排気制御が可能一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。

■圧力制御機能の追加信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。

■簡単メンテナンスバルブと電装部を個別でメンテナンス可能。