高真空・特殊ガス用機器高温・高耐久ガスバルブ AGD
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この製品について

■概要微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

■高耐久、高応答、安定性能を実現業界No.1の最高1億回動作耐久性。Cv値・応答性の長期安定性確保。

■AGD-HDシリーズ・耐久性:1,000万回保証 (実績値:3,000万回) 
・集積化ガス供給システムに対応 (1.5inch、1.125inch) 
・単品バルブ対応可能

■AGD-HDFシリーズ・耐久性:1,000万回保証 (実績値:3,000万回) 
・高温対応:~200℃
・集積化ガス供給システムに対応 (1.5inch、1.125inch) 
・単品バルブ対応可能
・応答安定アクチュエータ搭載

■AGD21R-Aシリーズ・耐久性:3,000万回保証 (実績値:1億回) 
・流体温度:150~200℃対応
・集積化ガス供給システムに対応 (1.5inch) 
・応答安定アクチュエータ搭載
・高Cv値:0.4以上