高真空・特殊ガス用機器プロセスガス用レギュレータ PGM
CKD株式会社

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この製品について

■概要業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

高シール性
■プロセス安定化に貢献・弁座部の最適設計と超精密加工
・弁閉動作時の2次側への漏れ (出流れ) を極限まで抑制

高い微小流量制御性
■安定かつスムーズな動作を実現・弁座部形状の最適設計
・微小流量でも安定制御

ヒステリシス低減
■狙いの圧力に確実にミート・高品質材料の採用
・超精密加工