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薬液用機器 サックバックバルブ AMS-AMS
薬液用機器 サックバックバルブ AMS-CKD株式会社

薬液用機器 サックバックバルブ AMS
CKD株式会社

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この製品について

■概要

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。

■流体のボタ落ち防止

微速タイプのスピードコントローラとの組合せで最適な液切れに調整可能。

■動作原理

流体を流す時、操作ポートへ空気圧を加えてダイアフラムを下げる。流体を止める時、操作ポートの空気を大気へ放出すると、スプリングの力によりダイアフラムが上がりサックバルブ内の容積が増えて、流体の滴下を防止。

  • シリーズ

    薬液用機器 サックバックバルブ AMS

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自動化技術や流体制御技術を基盤に、お客さまのニーズに合わせた商品開発を続けることで、 各分野を網羅した幅広いラインナップを誇るCKDの商品。 現在では50万アイテムを超える商品群が、世界中のモノづくりの現場を支えています...

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