薬液用機器サックバックバルブ AMS
CKD株式会社

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この製品について

■概要コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。

■流体のボタ落ち防止微速タイプのスピードコントローラとの組合せで最適な液切れに調整可能。

■動作原理流体を流す時、操作ポートへ空気圧を加えてダイアフラムを下げる。流体を止める時、操作ポートの空気を大気へ放出すると、スプリングの力によりダイアフラムが上がりサックバルブ内の容積が増えて、流体の滴下を防止。