均熱加熱工具ガラス基板加熱・冷却装置
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この製品について

■特徴ガラス基板の温度プロファイルを取ることにより、最適な加熱または冷却条件を見いだし、プロセス設計の迅速化を実現します。基板温度の昇降試験に最適な装置です。

・ガラス基板の加熱・冷却における製造プロセスを確立するために最適化された装置です。
・ホットプレート部・クールプレート部には、長年にわたり培ってきた、均熱技術を用いています。
・クリーンルームでの使用を考慮した構造です。

■用途固体加熱用ヒーター/半導体・FPD関連機器/樹脂加工用ヒーター

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
均熱加熱工具ガラス基板加熱・冷却装置

取扱企業
株式会社八光電機

カテゴリ

熱源

ヒーター

熱源

プレートヒータ

熱源

工業用ヒーター

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均熱加熱工具ガラス基板加熱・冷却装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法ホットプレート	寸法クールプレート	主要材料ホットプレート	主要材料クールプレート	設定可能範囲加熱時間	設定可能範囲冷却時間	温度設定範囲ホットプレート	温度設定範囲クールプレート	温度均一性ホットプレート	温度均一性クールプレート	質量
	ガラス基板加熱・冷却装置	要見積もり	(W) 700× (L) 600× (H) 40mm	(W) 700× (L) 600× (H) 40mm	A5052 (アルミニウム)	A5052 (アルミニウム)	0~999秒	0~999秒	50~300℃	5~30℃	200℃以下±1℃ (550×650mm内) 200℃超±2℃ (550×650mm内)	5℃~30℃±2℃ (550×650mm内)	約500kg