トライボロジー関連試験機 超薄膜スクラッチ試験機 CSR5100
株式会社メディア研究所
この製品について
■概要
薄膜の密着強度を測定します。JIS R 3255、JIS K 7376に準拠した測定が行えます。DLC・ITO・ZnO・SiO・SiN 等の評価にご利用頂いております。光学薄膜・記録ディスク・半導体等の評価にご利用頂いております。■特徴
・膜厚μm 以下の超薄膜の密着強度評価が可能※膜ある10nm の測定実績有 ・サンプルを加熱しての加熱環境下での評価が可能 ・レンズ等の曲面測定が可能 ・顕測定部位を事前に顕微鏡観察により位置設定が可能 ・測定に時間を要しません (1測定1〜2分程度) ・一定荷重測定における破壊有無判断により単純OK/NG 評価が可能-
シリーズ
トライボロジー関連試験機 超薄膜スクラッチ試験機 CSR5100
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取扱企業
株式会社メディア研究所
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カテゴリ
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トライボロジー関連試験機 超薄膜スクラッチ試験機 CSR5100 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 荷重印加範囲 | 荷重分解能 | 許容過負荷 | 周波数レンジ | 励振周波数 | 励振振幅 | 触針材質/形状 | Z軸駆動機構※荷重印加方向 駆動分解能 | Z軸駆動機構※荷重印加方向 駆動速度 | X軸駆動機構※スクラッチ方向 駆動範囲 | X軸駆動機構※スクラッチ方向 駆動分解能 | X軸駆動機構※スクラッチ方向 駆動速度 | Y軸駆動機構 駆動範囲 | Data出力方式 | 寸法及び重量 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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CSR5100 |
要見積もり | 1mN~1,500mN | 0.3mN | 300%FS | 0.2Hz~10kHz | 45Hz | 0・5・10・20・40・50・80・100μm | ダイヤモンド R5・10・15・25・50・100μm/サファイア R250・500μm | 0.5μm | 0.1~10μm/s | 20mm | 0.5μm | 0~20μm/s | ±6.5mm | USB | W540×D520×H630 (37kg) 顕微鏡含む | AC100V~240V 50/60Hz |
