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スラリーモーター (ポンプ) 電流/流量監視システム
株式会社協同インターナショナル



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この製品について

半導体CMP装置用スラリーモーター (ポンプ) の電流、およびスラリー流量の値を可視化・数値化し、異常時に アラームを発生させます。スラリー吐出量不良による生産ウェハのロスを未然に防げる監視システムです。

■特徴

・モーターの電流値、スラリー流量値の一方または両方の可視化が可能です ・表示端末はモニター、PC、タブレット、スマホなどから選択可能です ・異常時にはアラームを発生させます ・オプションでインターロック制御も可能です (※装置仕様起因のため要お打ち合わせ) ・表示方法、通信手段 (外部クラウド/WiFi/Bluetooth 等) についてはカスタマイズ可能です

  • シリーズ

    スラリーモーター (ポンプ) 電流/流量監視システム

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スラリーモーター (ポンプ) 電流/流量監視システム 品番1件

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会社概要

株式会社協同インターナショナルは、業種に拘わらずオンリーワンの製品を通して企業の抱える課題解決策を提案することを企業理念に、 業種、業態、国境の壁を越えた事業を手掛けています。 半導体に関するビジネスを中心に研究開発か...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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