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ロボットアーム (ブレード) 位置監視システム
株式会社協同インターナショナル

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この製品について

半導体ウェハ搬送ロボットのアーム (ブレード) の位置を可視化・数値化し、異常時にアラームを発生させます。 アーム位置のズレによる生産ウェハの落下・破損による製品ロスを未然に防げる監視システムです。

■特徴

・アームとステージ間の距離、ステージと底部間の距離の一方または両方の可視化が可能です ・表示端末はモニター、PC、タブレット、スマホなどから選択可能です ・異常時にはアラームを発生させます ・オプションでインターロック制御も可能です (※装置仕様起因のため要お打ち合わせ) ・表示方法、通信手段 (外部クラウド/WiFi/Bluetooth 等) についてはカスタマイズ可能です

  • シリーズ

    ロボットアーム (ブレード) 位置監視システム

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会社概要

株式会社協同インターナショナルは、業種に拘わらずオンリーワンの製品を通して企業の抱える課題解決策を提案することを企業理念に、 業種、業態、国境の壁を越えた事業を手掛けています。 半導体に関するビジネスを中心に研究開発か...

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