リテーナーリング X3G
株式会社協同インターナショナル

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この製品について

■CMP リテーナーリング：高機能 (寿命、ユニフォミティー/均一性改善モデル) 主要消耗パーツを「材料」及び「設計」変更の観点からアップグレードし、トータルランニングコストの大幅な削減に貢献します。

■長寿命リテーナーリングESP Spares社が開発した「X3G」材は、リテーナーリングの長寿命化に加え、面内プロファイルの改善も実現できる画期的な"樹脂材料"です。メンテナンスコストの削減以外にも歩留りの改善も可能にし、CMP工程で生じるトータルコストを大幅に改善することができます。

■X3Gの特徴・純正品に比べ、最大4倍の寿命を実現します。
・サイドアタック、面内均一性の悪化等の2次的問題を解決。
・再生可能です。

X3Gは従来PPSの利点を保持しつつリングライフを大幅に改善した高機能樹脂です。

■X3Gがベストな理由／主な特徴"低摩耗"＋"低サイドアタック"性能によるCMPコストの低減。CMP用リテーナーリングを構成する素材は、硬ければ良いというものではありません。

■X3G材の長寿命メカニズムウェハの研摩に対して樹脂が消耗せず、更にウェハのサイドからの 衝突にも強いため、結果的に樹脂 の消耗を最小限に食い止めながら、 安定したCMPを実現。

従来の長寿命リテーナーリングが解決できなかった“樹脂のサイドアタックトラブル (内壁の打痕) ”を樹脂への特殊処理を施すことで完全に克服しました。これによりPPSと同等レベルの安定したCMPを樹脂の厚みを犠牲にすることなく実現できます。