ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ
大宮工業株式会社
この製品について
フェイスダウン拡張とステージ下部からの強制吸引により、割断時に発生するSiパーティクルの付着を限りなく抑制します。従来工法と比較し、歩留まり向上、工程削減が可能です。
また、モーター駆動の採用により低速、低ストロークでの精密な分割を実現しMEMSなどの脆弱なワークで優位性を発揮します。
■完全ドライプロセス
ウエハを下向きにセットし、割断時に発生するSi屑を強制吸引することで、ワークへの付着を限りなく抑制します。Wet洗浄ができないMEMS、CMOSなどウエハも完全ドライプロセスで完結します。■精密な条件設定が可能
モーター駆動方式を採用し、精密な条件設定が可能。拡張ストローク、拡張速度などの条件はタッチパネルでの簡単操作。脆弱なワークも破損なく高品質な割断が可能です。■フルオート対応
ローダー、アンローダーを取り付けたフルオート自動化にも対応。これまでの手作業で生じていたムラが無くなります。■自動カット機能
自動カット機能により、作業の省力化・均一化が図れます。低ストローク～高ストロークまでカットが可能。-
シリーズ
ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ
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取扱企業
大宮工業株式会社
ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置寸法 | 装置重量 | 拡張量 | 昇降速度 | 温度調整 | 対応サイズ | エアー | 電源 |
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OEX-FD 8inchタイプ |
要見積もり |
W700×D1,250×H1,470 (mm) ※シグナルタワー等の突起部を除く |
約250kg | 7mm~50mm/停止精度±0.1mm | 0.1~20mm/sec0.1mm/s単位での調整可能 | 室温~80℃ | 8inchダイシングフレーム | 0.4~0.5Mpa10L/minφ8ワンタッチ継手 | AC100V50/60Hz10A |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
