ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ-OEX-FD 8inchタイプ

ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

フェイスダウン拡張とステージ下部からの強制吸引により、割断時に発生するSiパーティクルの付着を限りなく抑制します。従来工法と比較し、歩留まり向上、工程削減が可能です。

また、モーター駆動の採用により低速、低ストロークでの精密な分割を実現しMEMSなどの脆弱なワークで優位性を発揮します。

■完全ドライプロセスウエハを下向きにセットし、割断時に発生するSi屑を強制吸引することで、ワークへの付着を限りなく抑制します。Wet洗浄ができないMEMS、CMOSなどウエハも完全ドライプロセスで完結します。

■精密な条件設定が可能モーター駆動方式を採用し、精密な条件設定が可能。拡張ストローク、拡張速度などの条件はタッチパネルでの簡単操作。脆弱なワークも破損なく高品質な割断が可能です。

■フルオート対応ローダー、アンローダーを取り付けたフルオート自動化にも対応。これまでの手作業で生じていたムラが無くなります。

■自動カット機能自動カット機能により、作業の省力化・均一化が図れます。低ストローク～高ストロークまでカットが可能。

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この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ

取扱企業
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ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	装置寸法	装置重量	拡張量	昇降速度	温度調整	対応サイズ	エアー	電源
	OEX-FD 8inchタイプ	要見積もり	W700×D1,250×H1,470 (mm) ※シグナルタワー等の突起部を除く	約250kg	7mm~50mm/停止精度±0.1mm	0.1~20mm/sec0.1mm/s単位での調整可能	室温~80℃	8inchダイシングフレーム	0.4~0.5Mpa10L/minφ8ワンタッチ継手	AC100V50/60Hz10A