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ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ-OEX-FD 8inchタイプ
ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ-大宮工業株式会社

ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

フェイスダウン拡張とステージ下部からの強制吸引により、割断時に発生するSiパーティクルの付着を限りなく抑制します。従来工法と比較し、歩留まり向上、工程削減が可能です。 また、モーター駆動の採用により低速、低ストロークでの精密な分割を実現しMEMSなどの脆弱なワークで優位性を発揮します。

■完全ドライプロセス

ウエハを下向きにセットし、割断時に発生するSi屑を強制吸引することで、ワークへの付着を限りなく抑制します。Wet洗浄ができないMEMS、CMOSなどウエハも完全ドライプロセスで完結します。

■精密な条件設定が可能

モーター駆動方式を採用し、精密な条件設定が可能。拡張ストローク、拡張速度などの条件はタッチパネルでの簡単操作。脆弱なワークも破損なく高品質な割断が可能です。

■フルオート対応

ローダー、アンローダーを取り付けたフルオート自動化にも対応。これまでの手作業で生じていたムラが無くなります。

■自動カット機能

自動カット機能により、作業の省力化・均一化が図れます。低ストローク~高ストロークまでカットが可能。

  • シリーズ

    ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ

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ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置寸法 装置重量 拡張量 昇降速度 温度調整 対応サイズ エアー 電源
ステルスダイサー対応フェイスダウン型エキスパンダー OEX-FD-シリーズ-品番-OEX-FD 8inchタイプ

OEX-FD 8inchタイプ

要見積もり

W700×D1,250×H1,470 (mm)
※シグナルタワー等の突起部を除く

約250kg

7mm~50mm/停止精度±0.1mm

0.1~20mm/sec0.1mm/s単位での調整可能

室温~80℃

8inchダイシングフレーム

0.4~0.5Mpa10L/minφ8ワンタッチ継手

AC100V50/60Hz10A

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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