自動カット機構内蔵セミオートウエハエキスパンダー OEX-SA-シリーズ-OEX-SA 8inch

自動カット機構内蔵セミオートウエハエキスパンダー OEX-SA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

■用途モーター制御による高精細エキスパンドを実現。0.1mm単位での高さ調整、0.1mm/secでの速度調整が可能。高分解能での制御を可能とした事でエキスパンド (チップ拡張) のほか、レーザーダイシング後のウエハ分割 (ブレーキング) など繊細な動作を可能としました。

また、自動カット機能を搭載したことにより、グリップリングのはめこみ、拡張、余幅テープのカットまでをスタートボタン一つのワンタッチで行います。人手による個人差やヒューマンエラーを防ぎ、余分な手間が省け作業効率のUPが見込めます。

■基本操作グリップリング (インナーリング、アウターリング) とダイシングフレームをセットして、ロック。あとはスタートボタンを押すだけ。

必要により、テーブルヒーターの温調をすることも出来ます。

■高精細エキスパンドモーター駆動により、高精細なエキスパンドを実現。拡張精度もUPしました。

■速度・高さ調整が簡単、精密にエキスパンドのストローク、スピードをタッチパネルでらくらく設定。各設定をタッチパネルでデジタル入力するため、数値による管理を行う事が出来ます。作業者、ロッド毎のバラツキを防ぎます。

■ステージ温調機能ステージ内蔵ヒーターにより、常温～80℃までの温調が可能。テープの拡張性を広げます。

■コンパクトデザインテーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、自動カット機能を内蔵。ワンタッチでカットまで行うセミオートとしては格段にコンパクト。

■フルオート対応ご要望に応じてフルオートへの対応も可能。一連の作業のさらなる自動化が図れます。

型番
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シリーズ
自動カット機構内蔵セミオートウエハエキスパンダー OEX-SA-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

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自動カット機構内蔵セミオートウエハエキスパンダー OEX-SA-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法	重量	拡張高さ	昇降速度	温度調整	対応サイズ	エアー	電源
	OEX-SA 8inch	要見積もり	W480×D600×H564 (mm)	約70kg	15mm~55mm停止精度±0.1mm	1~20mm/sec0.1mm/s単位での調整可能	室温~80℃	8inchダイシングフレーム	0.4Mpa以上10L/min以上	AC100V50/60Hz10A