真空貼り付け装置 OVM-シリーズ
大宮工業株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

近年のデバイスはバンプ、MEMS、TAIKO®※¹や裏面実装など表裏面に大きな段差が形成されるケースが増えており、さらに薄厚化によるウエハの反りが避けられなくなっております。 従来のローラー貼付け方式では、貼付け時の圧力不均質によりウエハへのストレスやボイド残りなどの問題が生じていました。

当社の真空貼り付け装置はこれらの問題点を解決し、気泡レス、低応力貼り付けを実現しました。さらにこれまでの貼り付け装置では難しかった貼り付けに関わる各種パラメーターを数値化しレシピに組み込むことで、作業者によるバラツキを抑え、テンションフリー、ボイドレスに貼り付けが行えるツールを実現しました。

■特長・低応力な貼り付けを実現
・貼り付け条件の各種パラメーターを数値管理 (貼り付けスピード、真空度、差圧、大気解放スピード等) 
・複数の貼り付けレシピをボタンひとつで実行
・段取り替えにより異サイズワークの対応も可能
・TAIKO®※¹ウェハなど段差が大きいワークへのテープ貼付け
・MEMSや極薄ウェハなど脆弱で貼付け時のストレスを嫌うワークへのテープ貼付け
・当社のフルオート装置にユニットを搭載することで量産対応も可能
・フィルム・テープとウエハ・基板の貼り付け (各種保護フィルムやドライフィルムなどの高機能フィルムのラミネート、ダイシング前のウエハマウントとして) 
・オプションのヒーターを用いることで加熱＋真空での貼り付けが可能
・オプションのステージを用いることでパターン面非接触での貼り付けが可能
※¹ TAIKO®はディスコ社が開発したウェーハ裏面外周部を残して、内側のエリアのみを研削し、薄化させていく技術です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空貼り付け装置 OVM-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

この商品に関する問題を報告する

30人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

真空貼り付け装置 OVM-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法	重量	レシピ設定	適応ワーク	対応テープ	真空源	ドライエアー	電源
	OVM 8inch	要見積もり	W500×D770×H1,010 (mm) (アジャスター付き)	約110kg	10種類から選択	2inch∼8inchウエハ・基板等 5inch∼8inchダイシングフレーム	各種テープ	ドライポンプ	0.5Mpa以上150L/min (ANR)	AC200V50/60Hz15A (3-phase)