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フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ-フルオートテープリムーバーOTR-FA
フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ-大宮工業株式会社

フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

フルオートテープリムーバーは、ウエハ上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。

■薄厚ワーク対応

独自の剥離機構の採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。オプションで非接触での剥離にも対応。

■アライメント機能

剥離前にアライメントテーブルでオリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行います。剥離角度の任意設定も可能。

■タクト調整機能

テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定が可能。 ワークにあわせた調整が可能です。

■静電気対策

イオナイザーを標準装備。

■テープ空検知

剥離用テープの残量をセンサで検知。残量が5m (設定変更可) になるとアラームで通知。無駄な装置停止をなくします。

■ウエハ飛出し検知機能

カセットにセットされたウエハの飛出しを検知します。搬送時にアームとの接触による割れを防ぎます。

■安全

扉インターロック、シグナルタワー

■オプション

FFU、上位通信

  • シリーズ

    フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ

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フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 対象ワーク タクト 駆動エア 真空源 電源
フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ-品番-フルオートテープリムーバーOTR-FA

フルオートテープリムーバーOTR-FA

要見積もり

W2,200×D1,500×H1,800 (mm)

BGテープその他保護フィルム付ウエハ

120sec/枚

0.4MPa以上、150L/min (ANR) 以上

工場真空と真空エジェクタを併用

3相200V30A

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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