フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ-フルオートテープリムーバーOTR-FA

フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

フルオートテープリムーバーは、ウエハ上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。

■薄厚ワーク対応独自の剥離機構の採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。オプションで非接触での剥離にも対応。

■アライメント機能剥離前にアライメントテーブルでオリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行います。剥離角度の任意設定も可能。

■タクト調整機能テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定が可能。 ワークにあわせた調整が可能です。

■静電気対策イオナイザーを標準装備。

■テープ空検知剥離用テープの残量をセンサで検知。残量が5m (設定変更可) になるとアラームで通知。無駄な装置停止をなくします。

■ウエハ飛出し検知機能カセットにセットされたウエハの飛出しを検知します。搬送時にアームとの接触による割れを防ぎます。

■安全扉インターロック、シグナルタワー

■オプションFFU、上位通信

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

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フルオートテープリムーバー OTR-FA-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法	対象ワーク	タクト	駆動エア	真空源	電源
	フルオートテープリムーバーOTR-FA	要見積もり	W2,200×D1,500×H1,800 (mm)	BGテープその他保護フィルム付ウエハ	120sec/枚	0.4MPa以上、150L/min (ANR) 以上	工場真空と真空エジェクタを併用	3相200V30A