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ウエハ移載機 OTD-25-OTD-25
ウエハ移載機 OTD-25-大宮工業株式会社

ウエハ移載機 OTD-25
大宮工業株式会社

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この製品について

ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。face to face移載、back to back移載にも対応しています。

■パーティクル発生予防

モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。

■独自のウエハチャック構造

当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。

■各種オプション

・静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー ・エリアセンサー

  • シリーズ

    ウエハ移載機 OTD-25

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ウエハ移載機 OTD-25 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ステ-ジ数 駆動方式 移載形式 移載スピ-ド 装置寸法 安全機構 電源
ウエハ移載機 OTD-25-品番-OTD-25

OTD-25

要見積もり

Ⅱステージ
(カセット×1、ボート×1)

モーター駆動 (サーボ)

1cato1bt双方向移載

Min50秒 (調整可)

W433×D490×H625 (mm)

カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止

AC200V (50/60Hz)

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この商品の取り扱い会社情報

大宮工業株式会社

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ（半導体素子製造の材料）を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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