ウエハ移載機 OTD-25
大宮工業株式会社
この製品について
ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。face to face移載、back to back移載にも対応しています。
■パーティクル発生予防
モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。■独自のウエハチャック構造
当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。■各種オプション
・静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー ・エリアセンサー-
シリーズ
ウエハ移載機 OTD-25
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取扱企業
大宮工業株式会社
ウエハ移載機 OTD-25 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ステ-ジ数 | 駆動方式 | 移載形式 | 移載スピ-ド | 装置寸法 | 安全機構 | 電源 |
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OTD-25 |
要見積もり |
Ⅱステージ (カセット×1、ボート×1) |
モーター駆動 (サーボ) | 1cato1bt双方向移載 | Min50秒 (調整可) | W433×D490×H625 (mm) | カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 | AC200V (50/60Hz) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
