ウエハ移載機 OTD-25
大宮工業株式会社

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この製品について

ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。face to face移載、back to back移載にも対応しています。

■パーティクル発生予防モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。

■独自のウエハチャック構造当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。

■各種オプション・静電気除去装置 (イオナイザー) 
・全面カバー
・エリアセンサー

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウエハ移載機 OTD-25

取扱企業
大宮工業株式会社

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ウエハ移載機 OTD-25 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ステ-ジ数	駆動方式	移載形式	移載スピ-ド	装置寸法	安全機構	電源
	OTD-25	要見積もり	Ⅱステージ (カセット×1、ボート×1)	モーター駆動 (サーボ)	1cato1bt双方向移載	Min50秒 (調整可)	W433×D490×H625 (mm)	カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止	AC200V (50/60Hz)