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自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ-OKV 6inchタイプ
自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ-大宮工業株式会社

自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

環境エアー吸気方式でN₂不要。ランニングコストの削減と除電効果の向上を実現※N₂置換方式もあります 自転式シングルカセットスピンドライヤーは、少量生産~研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤーです。卓上型にも関わらず2inch~8inchまで対応し、さらにオプションのワンタッチアタッチメントを取り付けることで誰でも簡単に異サイズカセットの乾燥を行うことも可能です。 その他、チャンバーリンス機能、比抵抗計取り付けなど多彩なオプションを取り揃えております。従来のN₂置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸気乾燥方式を採用しました。

  • シリーズ

    自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ

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自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置寸法 対応ウエハサイズ 本体外装 ローター材質 イオナイザー エアフィルター 回転数 タイマー 安全機構 電源 駆動エアー 排気口 排水口
自転式1カセットスピンドライヤー OKV-シリーズ-品番-OKV 6inchタイプ

OKV 6inchタイプ

要見積もり

W423×D839×H780 (mm)

2~12inch

正面・側面:SUS304背面:PVC

SUS304電解研磨処理

標準装備

ULPA/HEPA選択可

Max回転数:3,000min^-1

1速~8速 (0~999sec.8段階設定可)

前面蓋閉センサ付ロータ回転中扉ロック機構付

三相AC200V±10%50/60Hz (端子台)

クリーンドライエアー
圧力:0.5MPa以上
空気消費量:250L/min (ANR)

VP50A1箇所 (チャンバーより)
(排気量800L/min∼1000L/min)

VP25A1箇所 (チャンバーより)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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