公転式スピンドライヤー OKH-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

当社の公転式スピンドライヤーは多彩なラインアップが魅力のスタンドアローンタイプのウエハ遠心乾燥装置です。フルオートバランサー (FAB) 、各種ヒーター、チャンバーリンスなどオプションも多彩。

さらに当社のバランステクノロジーを活用することで、例えば6inchと8inchのカセット各1個掛けはもとより3"4"5"6"の各2個掛け、3"4"8"×2個掛けといったお客様の生産品目に合わせた多彩なサイズのカ セットの乾燥を行うことが出来ます。さらにフルオートバランサーを搭載することで、ダミーウエハを投入することなく0～25枚差でも投入することが可能です。

気流の流れをさらに効率化し、ダウンフローによる乾燥性を上げました。その結果乾燥時間がさらに短縮されました。ボディの設計コンセプトは、『振動しないスピンドライヤー』。 独自の振動解析技術によって裏付けられた高品質の回転性能を提供します。

独自開発の自動振動抑制機構 (自動バランサーFAB) やウエハ割れ自動検知機構などのオプションを採用することにより、さらに便利にご利用いただけます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
公転式スピンドライヤー OKH-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

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公転式スピンドライヤー OKH-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	回転数2~6インチ	回転数8インチ	回転数12インチ	装置寸法2~6インチ	装置寸法8インチ	装置寸法12インチ	対象ワーク	電源	クレードル	速度設定	材質	外装	安全機構	立上り時間
	OKH オート	要見積もり	Max1,000min^-1	Max1,000min^-1	Max700min^-1	750×1,350×1,100 (mm)	850×1,450×1,150 (mm)	1,050×1,700×1,170 (mm)	2~12inch	AC200V (50/60Hz)	2個または4個搭載可能	1速、2速	ターンテーブル、クレードル共にSUS316L (EP)	PVC	異常振動自動停止、過負荷運転防止	12in…30秒以内/8in以下…25秒以内