ウェハー急速乾燥装置スピンドライヤー H840A / SPD-180-SPD180RN

ウェハー急速乾燥装置スピンドライヤー H840A / SPD-180
入江株式会社

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この製品について

拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適 各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種

■特長入江のスピンドライヤーは拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適。各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種。

・メガビットメモリーデバイスにもっとも適したタイプ。
・半導体製造プロセスにおけるウェハーなどの洗浄ならびにダイシング後の急速乾燥に最適。
・上ブタより、常に清浄な空気を吸引しているので、ウェハー表面はいつもクリーンな乾燥状態が得られます。
・ローターが容易に着脱できるので、メンテナンスがいたって簡単です。 軸受部等からのコンタミネーションが皆無といえます。
・オートドアインターロック方式等、操作の安全性も万全です。
・4”φ～12”φまで処理が可能です。
・既設備された自動洗浄システムにラインナップさせることが可能です。
・静電気防止、ウルパフィルターは標準装備。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウェハー急速乾燥装置スピンドライヤー H840A / SPD-180

取扱企業
入江株式会社

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2024年5月20日にレビュー済み

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ウェハー急速乾燥装置スピンドライヤー H840A / SPD-180 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用キャリアサイズ	電源	N2	純水	排気・排水	外寸 (mm)	モーター	回転数 (インバーター制御)	タイマー (任意デジタル設定)	静電除去装置	安全機構	重量
	SPD180RN	要見積もり	直径50~200mm×1	AC 3相 200V 50/60Hz	0.2~0.3Mpa 20 L/min	0.1~0.2Mpa 3 L/min	槽内排気 VP75 (一般排気に接続) 槽内排気排水 VP75 (一般排気と一般排水に必ず分離して接続)	540W×734D×998H	AC 3相 200V 4P 0.4KW	槽内洗浄0~1,500rpm　ドライ0~3,500rpm (直径150mm以上は、3,000rpm以下)	槽内洗浄 0~999秒　1速　可変 0~999秒　2速　可変 0~999秒	槽内設置	オートドアロック機構、防振機構	約85kg