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精密マイクロダイアモンドスクライバー MR200-MR200
精密マイクロダイアモンドスクライバー MR200-入江株式会社

精密マイクロダイアモンドスクライバー MR200
入江株式会社

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この製品について

■MR200　精密マイクロダイアモンドスクライバー

精密マイクロダイアモンドスクライバーMR200による正確な手動スクライビングにより、構造化されたシリコンウェハーを正確に切断できます。MR200のセットアップと装置により、構造化されたシリコンウェハーを高精度にスクライビング (切断) することができます。MR200は、特に半導体技術におけるREM作製に不可欠なツールです。実験室での使用など、少数のチップの切断にも適しています。 機械的な基本セットアップにより、スクライビングパラメータの調整には多くのオプションが用意されています。高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。 光学系と機構は、効率と操作の快適性を高める補助モジュールで拡張できます。このようなモジュールには例えば、カメラシステム、画像処理システム、テーブル移動測定用デジタルゲージなどがあります。

■MR200オプション

高品質ズーム顕微鏡により、試料表面の全体像と詳細な表示を無段階に切り替えることができます。X/Yステージの微調整により、試料を高精度に位置決めします。スクライビングダイアモンドのセットオフポイントを調整することができます。接眼レンズのハイクロスがセットオフポイントを示します。ビデオシステムもオプションでご用意しています。パソコンのモニターでウェハーを観察することができます。

■技術パラメータ

・押し出し材によって構成された基本フレーム ・装置サイズ 約400×800×600mm (W×D×H) ・重量 約20Kg ・電磁的スクライブ　 (高パワー空圧スクライブはお問い合わせください) ・フットスイッチによるスクライビングダイアモンド制御 (下降、上昇) ・調整可能なスクライビング出力 (10g～120g、その他はお問い合わせください) ・スクライビング溝幅 約5μm～10μm (スクライビング出力と材質による) 調整可能な下降速度 ・スクライビングダイアモンドの高さ調整可能 ・スクライビングダイアモンドの動作角度の調整可能 ・真空によるスクライビング粒子の除去 ・8倍～40倍の範囲で倍率を無段階調整できる高品質のズーム顕微鏡 ・エッジ、構造、基準マークなどに合わせてスクライビングラインを正確に調整するためのヘアクロス接眼レンズ

  • シリーズ

    精密マイクロダイアモンドスクライバー MR200

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精密マイクロダイアモンドスクライバー MR200 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

入江株式会社

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会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。 基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療・医薬品...

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  • 本社所在地: 東京都
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