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シリーズ
スクラッチ・ディグ自動検査装置 OptiLUX SD取扱企業
株式会社アイ・アール・システム商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 計測原理 | 準拠規格 | 計測キズ規格 | 最少計測サイズ | スキャン速さ | 最大測定範囲 | 許容最大傾斜 | 計測再現性 | 重量 (計測部のみ) | サイズ (計測部のみ) | カメラ | 視野 (FOV) | 画素分解能 | Working Distance | 計測用レンズ | 照明 | 移動最大 | 駆動方式 | 位置決め | 移動分解能 | 位置再現性 | 付属品 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
OptiLUX SD |
要見積もり |
均一照明、全自動暗視野顕微測定器 |
MIL-PRF-13830B、ANSI/OEOSC OP 1.002:2009 |
スクラッチ (引っかき) :10-20-40-60-80、ディグ (ブツ、打痕) :5-10-20-40-50 |
8um |
>25㎟/sec |
300×300mm 但しこの範囲内で測定エリア/形状設定可 |
+/-2° |
99.90% |
55kg |
680×680×612mm |
モノクロ2,048×2,048画素、10-bit |
5.63×5.63mm |
2.75um |
15mm (装置として) |
ミツトヨ無限補正対物レンズ、x2 (固定) 、焦点深度184um、レンズ単体WD34mm |
LEDアレー均一光源 (色温度5,500K) |
XY 300mm、 Z 50mm (これ以外の仕様も応相談) |
ボールねじ (手動) 、ブラシレスサーボモータ |
ロータリーエンコーダ |
XY 0.5um、Z 0.1um |
XY ±1um、Z ±0.75um |
専用Windows7 (64bit) PC、専用ソフトウェア、専用ステージおよびコントローラ |