オゾン分解装置 Model OZFDT Ozone decomposition unit-OZFDT

オゾン分解装置 Model OZFDT Ozone decomposition unit
株式会社エキシマ

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この製品について

精密オゾン分解ユニット 排気ファン内蔵 出口オゾン濃度0.1ppm以下

■特長・卓上型UV照射装置、プラズマ装置等のオゾン排気ガスを分解します。
・局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。
・非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解
・排気オゾンガス濃度0.1ppm以下
・長寿命設計 触媒寿命 推奨交換期間 1年

殺菌や脱臭、洗浄、改質などでオゾンを利用した際にオゾンガスの排気には困ります。そのまま排気すればダクトやファンなどが腐食し危険です。屋外へ排気すれば拡散はしますが排気口付近は高濃度のオゾンガスなので安全ではありません。工場ではドラフターやスクラバーなどで酸排気処理いたしますが工場以外ではオゾンフィルター等で除外する方法が一般的です。

従来のオゾンフィルター分解器は高濃度のオゾンガスを短時間で処理するにはコストも場所も要する大きな容量が必要でした。小型のオゾン利用装置でオゾンフィルターを使用するには装置内にオゾンフィルター配置してオゾンガスが薄まるまで循環させる方式が一般的です。

弊社は半導体製造装置などで培われた豊富な技術と経験から小型サイズのオゾンフィルターながら高性能な為、装置内のオゾンガスを循環させることなくワンパスで排気処理可能な排気オゾンガス濃度0.1ppm以下にする排気ファン内蔵オゾン分解ユニットを実現し販売いたしております。 この方式のメリットは循環処理が不要な為、装置全体のプロセス時間が短時間となります。

また、オゾン分解フィルターが装置の外なのでオゾンフィルターに使われる活性炭や重金属触媒などの成分による装置内の再汚染の可能性が構造的にありません。ワンパス方式のオゾン除害ユニットは超クリーンな設計コンセプトです

■設置例エキシマUV洗浄改質装置からダイレクトでオゾン分解装置を通して室内排気しています。ただし設置環境は換気可能な室内の場合のみ。クリーンルーム等、換気が難しい空間では必ず室外排気してください。オゾン触媒の交換寿命期間の実績は毎日稼働で約3年間です。