SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®
東洋炭素株式会社

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この製品について

PERMA-KOTE®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD (化学的気相成長) 法にて緻密な炭化ケイ素膜を被覆した製品です。

■特長・耐酸化性、耐食性、耐薬品性に優れた炭化ケイ素膜です。
・高温で安定、非常に硬い炭化ケイ素膜です。
・黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
・黒鉛基材、炭化ケイ素膜ともに高純度です。
・黒鉛基材、炭化ケイ素ともに熱伝導が高く、均熱性に優れています。
・クラックや剥離を起こさない材料設計です。
・導体ウエハーの表面に成膜するエピタキシャル成長の工程の、パンケーキ型、バレル型、枚葉型サセプターなどには炭化ケイ素被覆黒鉛がなくてはならない材料となっております。
・PERMA KOTE®︎は半導体レベルの純度の高い、耐熱性や耐食性に優れた炭化ケイ素で皮覆された黒鉛製品でエピタキシャル成長用サセプターとしてユーザーニーズに応えています。

■使用用途例・シリコンエピタキシャル成長用サセプター
・シリコン単結晶引き上げ装置部品
・MOCVD用サセプター
・ヒーター
・均熱板
・耐酸化性部材

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®

取扱企業
東洋炭素株式会社

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SiCコート被覆材 PERMA-KOTE® 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	かさ密度	分解温度	硬さ	電気抵抗率	曲げ強さ	ヤング率	皮膜の厚さ
	PERMA-KOTE®	要見積もり	3.2 Mg/m3	2,700 ℃以上	2,800HK	0.2Ω・m (電圧降下法による)	170 MPa (3点曲げによる)	320 GPa (たわみ法による)	標準は120μmですが、20~500μmの範囲で調整が可能です。