TaC (炭化タンタル) 被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B-EVEREDKOTE®-B

TaC (炭化タンタル) 被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B
東洋炭素株式会社

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この製品について

■製品概要EVEREDKOTE®-Bは、当社独自のCVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なTaC (タンタルカーバイド) 膜を被覆した材料です。

■特長・耐熱性に優れています。
・黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
・エッチングガスに対する耐反応性に優れています。

■使用用途例・SiC単結晶成長用部材
・MOCVD用部材
・耐高温部材

■各種物質との反応性・塩化水素　1,200℃×5h 反応なし　1,600℃×5h 反応なし
・アンモニア　1,200℃×5h 反応なし　1,600℃×5h 反応なし
・水素　1,200℃×5h 反応なし　1,600℃×5h 反応なし
・酸素　1,200℃×5h 著しく反応 (600℃以上) 　1,600℃×5h 著しく反応 (600℃以上) 

・塩化水素反応試験：20Torr, HCl/H2=0.30/2.70 L/min (10%) 
・アンモニア反応試験：20Torr, NH3/H2=0.5/2.0 L/min (20%) 
・水素反応試験：20Torr, H2 3.0 L/min
・酸素：低濃度酸化雰囲気で被覆にクラック、脆化が発生。