高気密、高耐気圧、クリーン加熱用熱風加熱ヒータ (特殊用途品) CLH-10シリーズ-CLH-10

高気密、高耐気圧、クリーン加熱用熱風加熱ヒータ (特殊用途品) CLH-10シリーズ
有限会社フィンテック

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この製品について

塵やガスの放出を極限まで排除したヒータです。半導体製造等のクリーンルームでの御使用に適しています。発熱体もセンサーも電線も被加熱流体に直接接触しないため、水蒸気や多少の腐食性ガスの加熱にも使えます。他の方式に比べ、低コストで汎用性が高く高信頼性です。

発熱体や温度センサーは内側の石英管内に密閉封入されています。エアーはこの内側石英管と外側石英管の隙間を通ることにより間接的に加熱されます。

■温度センサーの寿命について温度センサーの寿命ですが、CLHヒータの構造上、発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線 (熱電対) の一部が温度上昇します。そのためにセンサーの寿命が問題になる可能性はあります。
　
この機種のセンサーには可能な限り太いK熱電対を使用しておりますが､小型の機種にはφ0.65程度しか使えませんので､ご使用条件 (発熱体温度) によってはかなり寿命が短くなります。発熱体を高温で使用される場合には、できれば温度センサーは外部から挿入するか、内蔵センサーの場合はR熱電対 (オプション) を使っておいた方が安全です。

■使用材料についてこのヒータには主要材料であるステンレス、石英ガラス、フッ素樹脂、フッ素ゴム以外にも接着や気密を保つ目的でシリコン系の接着剤を使用します。これは特にご指定がなければシリコンRTVを使用します。これに代えて変性シリコン系の接着剤に変えることもできますが、多少耐熱性が劣ります (180℃→120℃)