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返答率
100.0%
返答時間
3.1時間
工程
成膜
メーカー
PREMTEK
仕様 温度制御範囲
200~1,250℃
仕様 温度制御方式
マルチPIDコントロール
仕様 面内温度均一性
・≦±3％ (600℃以下) ・≦±1.5％ (600℃以上)
仕様 面内抵抗値均一性
<1.5％~2.5％ (1σ)
仕様 真空
〇
仕様 ウエハ寸法
6~8
仕様 加熱ランプ
タングステン・ハロゲンランプ
仕様 ウエハ搬送
フルオート (5軸ロボット)
仕様 プロセスガス系統数
4
仕様 ウエハ位置合わせ
・センタリング ・OCR,アライナー (Op)
仕様 昇温レート
25℃/秒 (サセプタ使用時)
仕様 サセプタ
SiCコーティングカーボン
仕様 装置外形寸法
D: 1,580 × W: 1,500 × H: 1,800mm
型番
RTP-1200Aシリーズ
RTP装置 RTP-1200Aシリーズ取扱企業
株式会社インターテック販売カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 工程 | メーカー | 仕様 温度制御範囲 | 仕様 温度制御方式 | 仕様 面内温度均一性 | 仕様 面内抵抗値均一性 | 仕様 真空 | 仕様 ウエハ寸法 | 仕様 加熱ランプ | 仕様 ウエハ搬送 | 仕様 プロセスガス系統数 | 仕様 ウエハ位置合わせ | 仕様 昇温レート | 仕様 サセプタ | 仕様 装置外形寸法 |
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要見積もり | 成膜 | PREMTEK | 200~1,250℃ | マルチPIDコントロール |
・≦±3％ (600℃以下) ・≦±1.5％ (600℃以上) |
<1.5％~2.5％ (1σ) | 〇 | 6~8 | タングステン・ハロゲンランプ | フルオート (5軸ロボット) | 4 |
・センタリング ・OCR,アライナー (Op) |
25℃/秒 (サセプタ使用時) | SiCコーティングカーボン | D: 1,580 × W: 1,500 × H: 1,800mm |
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使用用途
#アニール #ガス雰囲気処理 #セラミックス処理 #乾燥 #焼結 #焼鈍 #焼入 #脱脂 #熱処理試験 #雰囲気制御 #溶解加熱方式
電気 ガス インダクション 赤外線加熱対象
金属 セラミック プラスチック形状
立式 横型構造
真空 アルゴン 断熱温度管理
恒温 高温 過熱防止最高温度 ℃
100 - 700 700 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,300 1,300 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700 1,700 - 1,800炉内容積 L
0 - 5 5 - 10温度分布
3 - 6 6 - 10電源電圧
AC100V AC110V AC200V AC220V AC380V AC400V
