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ワイヤレス温度モニター-株式会社昭和真空

ワイヤレス温度モニター | ワイヤレス温度モニター
株式会社昭和真空

この製品について

■成膜中の基板温度をリアルタイムに測定

ワイヤレス温度モニターは子機と親機で構成され、子機で測定した温度データを親機で受信しPCにデータを送信します。成膜中の基板温度を加熱機構の温調制御に使用することも可能です。

■特長

・ワイヤレスでの温度モニターが可能 ・小型モジュール (子機) で設置が容易 ・基板温度で温調が可能 ・子機×3 ／ 親機

  • 型番

    ワイヤレス温度モニター

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株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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