エンタープライズヒータ付き | 上面石英ガラスとSUS本体で密閉エンタープライズ窒素パージステージ
ファイブラボ株式会社

型番説明

窒素パージ内にステージにヒータを設置し、室温から300℃まで温度コントロールできます。

設置サンプルサイズ

温度コントロール範囲

室温~300℃

ウィンドー

石英　φ100×0.65tmm

バルブ

ご用意ください (推奨6LVV-DP RS4)

レーザーアニールを基盤温度を変化させ行うユニットです。窒素パージにて行えるよう上面石英ガラスとSUS本体で密閉されています。

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商品画像	価格 (税抜)	温度コントロール範囲	設置サンプルサイズ	ウィンドー	バルブ
	要見積もり	室温~300℃	φ65×0.5tmm	石英　φ100×0.65tmm	ご用意ください (推奨6LVV-DP RS4)

会社概要

ファイブラボ株式会社は1988年に設立した、光学機器及び装置の専門メーカーです。光学機器や装置の開発・製造・販売をメインの事業として展開しており、光で膜の厚みなどを測定する装置であるエリプソンメーター、非接触で角度を...