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選べる2タイプ 膜厚基準サンプル-ファイブラボ株式会社

STA-6000-□ | 選べる2タイプ 膜厚基準サンプル
ファイブラボ株式会社

膜厚センター値

ピッチ

全型番で同じ値の指標

基盤

シリコンウェハー4inch

膜種

SiO2

測定方法

N:測定無 　　　　　　 C:5種センターのみ測定 M:5種100点マッピング測定 ※型番の項目で、□内“N・C・M”をご指定ください。

文字線幅

0.3mm

文字類膜厚

120nm

タイプ

薄膜・厚膜

この製品について

■特徴

・SIO2/SI膜厚基準サンプル ・基盤上に膜厚の違う酸化膜を5種類、等ピッチ間隔ラインを3種類成膜したシリコウェハーです。 ・90nm～600nmを配置したタイプと、200nm～900nmを配置したタイプの2種類用意いたしました。 ・サンプルの表示はあくまで狙いの膜厚です。 ・実際の膜厚はセンター値近辺となります。 ・膜厚値に関しましては測定無・センターのみ測定・マッピング測定の3種類からお選びいただけます。 ※当社エリプソメーターMARY-102にて測定

  • 型番

    STA-6000-□

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無料
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選べる2タイプ 膜厚基準サンプル STA-6000-□の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基盤 膜種 測定方法 膜厚センター値 ピッチ 文字線幅 文字類膜厚 タイプ モデル名
選べる2タイプ 膜厚基準サンプル-品番-STA-6000-□ 要見積もり シリコンウェハー4inch SiO2 N:測定無 　　　　　　
C:5種センターのみ測定
M:5種100点マッピング測定
※型番の項目で、□内“N・C・M”をご指定ください。 		96nm:110nm:125nm
407nm:606nm 		50μ:100μ:500μ 0.3mm 120nm 薄膜・厚膜

膜厚基準サンプル


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この商品の取り扱い会社情報

ファイブラボ株式会社

会社概要

ファイブラボ株式会社は1988年に設立した、光学機器及び装置の専門メーカーです。 光学機器や装置の開発・製造・販売をメインの事業として展開しており、光で膜の厚みなどを測定する装置であるエリプソンメーター、非接触で角度を...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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