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真空プラズマクリーナー COGRADE-株式会社新興精機

COGRADE | 真空プラズマクリーナー COGRADE
株式会社新興精機

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チャンバー

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プラズマモード

PE

周波数/出力

13.56kHz／MAX300W

MFC

Max. 500sccm

ガス導入口

1 (マスフローコントローラ) ＊オプションで3個追加可能

装置寸法

W600×D615×H680mm

この製品について

LF真空プラズマ装置は、材料研究分野において基板上の有機物除去や表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。LFプラズマからRFプラズマまでラインナップし、幅広い研究用途にご使用できます。 ・アルミ削り出しチャンバーで高い耐久性。 ・独自のガスフローデザインで均一な処理ができます。 ・すべての制御がデジタルで、高い再現性が保たれます。 ・最大10レシピを保存できます。 ・周波数・出力・プラズマモードのカスタマイズも可能。

  • 型番

    COGRADE

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真空プラズマクリーナー COGRADE COGRADEの性能表

商品画像 価格 (税抜) チャンバー プラズマモード 周波数/出力 MFC ガス導入口 装置寸法
真空プラズマクリーナー COGRADE-品番-COGRADE 要見積もり W250×D300×H200mm PE 13.56kHz／MAX300W Max. 500sccm 1 (マスフローコントローラ)
＊オプションで3個追加可能 		W600×D615×H680mm

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重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 500 500 - 1,000

周波数 kHz

10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000

出力 W

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

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会社概要

株式会社新興精機は、1964年に創業した医療機器の販売を行う企業です。 医療機器の販売を主な事業とするほか、理化学機器の販売や事務機器のリースなども事業内容としており、主要な取引先として医療機関や介護福祉施設、食品メー...

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