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半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-600-PM1-株式会社千代田精機

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種別フィルタ

半導体

材質

ステンレス

適用ガス

N2/Air/Ar/C2H2/C2H4/C3H8/CH4/CO2/H2/He/O2/Cl2/NH3

適用ガス (その他)

表記省略

P1入口圧力 (MPa) 上限

3.3

P2使用圧力 (MPa)

0.1~0.99

流量

9 (m3/h) 150 (L/min)

入口形状 (詳細)

1/4″SWG (本体溶接)

出口形状 (詳細)

1/4″SWG (本体溶接)

一般 / 認定

一般品

シリーズ

EX-M/TD/PM

この製品について

■特長

・様々のガス制御機器に組み込むことができます。 ・ボックス内配管が容易に出来ます。 ・要部は、SUS316を使用しています。 ・洗浄から組立・検査までクリーン・ルームCL1000で実施しています。 ・禁油、禁水処理品です。 ・本体接続部は全て、差込み溶接構造です。

  • 型番

    EX-600-PM1 (パネルマウント仕様)

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半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-600-PM1 EX-600-PM1 (パネルマウント仕様)の性能表

商品画像 価格 (税抜) 種別フィルタ 材質 適用ガス 適用ガス (その他) P1入口圧力 (MPa) 上限 P2使用圧力 (MPa) 流量 入口形状 (詳細) 出口形状 (詳細) 一般 / 認定 シリーズ
半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-600-PM1-品番-EX-600-PM1 (パネルマウント仕様) 要見積もり 半導体 ステンレス N2/Air/Ar/C2H2/C2H4/C3H8/CH4/CO2/H2/He/O2/Cl2/NH3 表記省略 3.3 0.1~0.99 9 (m3/h) 150 (L/min) 1/4″SWG (本体溶接) 1/4″SWG (本体溶接) 一般品 EX-M/TD/PM

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使用圧力範囲 MPa

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100

圧力計二次側 MPa

0 - 0.4 0.4 - 0.8 0.8 - 2

圧力計出口側 MPa

0 0.2 0.4 1 1.6 2.5

使用温度範囲 ℃

-40 - -20 -20 - 0 0 - 50 50 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社千代田精機は、1948年に設立された、ガス圧力調整器、ガス溶断器、ガス溶接器、ガス切断器の専門メーカーです。 戦後間もない時期に創業し、ガスバーナーの修理工場を起源としています。現在は主に高圧ガスの制御を担う精...

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  • 本社所在地: 兵庫県

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