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標準コンダクタンスエレメント 標準校正リークエレメント/極微小ガス定流量エレメント-株式会社ピー・ジェイ

全型番で同じ値の指標

分子流コンダクタンス (設計値) (m3/s)

1×10^-9 (N2)

分子流条件を満たす上流側圧力範囲

≦10kPa

流量範囲 (Pam3/s)

≦1×10^-5 (N2)

上流圧力範囲

≦103 kРа

相対拡張不確かさ

≦9.8% (上流圧力 10kPaの時)

繰返し性

1%以下 (不活性ガス)

応答時間

6秒以下 (不活性ガス)

必要下流圧力

≦10^-3 Ра

耐圧力

10 MPa

使用温度範囲

≦200 ℃

接ガス部材質

コンダクタンスエレメント:ステンレス焼結金属、ハウジング:SUS316L

表面処理 (接ガス部)

電解研磨処埋

ピュアロン校正証明書

産総研校正証明書

データシート

トレーサビリティ体系図

この製品について

高い気密性が求められる部品および製品、またそれらを製造・検査する装置のリーク (漏れ) 検査は必須の工程となります。最も一般的な検査方法としては、ヘリウムリークディテクタ等の検査装置を用いたリークテストがあります。このような検査装置においては、標準リーク用の校正機器 (校正リーク) が必須であり、主に校止リークとして、メンフレンタイプ、キャビラリータイプが用いられています。 これらは環境条件や扱いによっては破損・詰まり等が発生し、頻繁に交換を必要とする場合があり、リークテストの回数頻度が多い場合、それらの解消が、生産性を向上させる上では課題となることもあります。ピュアロンジャパンのSCEシリーズは、各種ガスを粘性流の状態から中間流を介さずに直接分子流として真空チャンバ内に導入することを可能にした製品であり、従来の校正リークに代わる機器として使用することができます。ピュアロンジャパンが長年培ってきた超高精密フィルターの技術を応用しており、破損・目詰まり等がしにくい特長があります。 SCEシリーズを使用することで、従来よりも生産性・言頼性の高い検査を行うことが可能となります。※SCEとはStandard Conductance Elementの略で気体の流れやすさ (コンダクタンス) を校正したエレメントという意味です。

  • 型番

    SCE-ICF34-01

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標準コンダクタンスエレメント 標準校正リークエレメント/極微小ガス定流量エレメント SCE-ICF34-01の性能表

商品画像 価格 (税抜) 分子流コンダクタンス (設計値) (m3/s) 分子流条件を満たす上流側圧力範囲 流量範囲 (Pam3/s) 上流圧力範囲 相対拡張不確かさ 繰返し性 応答時間 必要下流圧力 耐圧力 使用温度範囲 接ガス部材質 表面処理 (接ガス部) ピュアロン校正証明書 産総研校正証明書 データシート トレーサビリティ体系図
標準コンダクタンスエレメント 標準校正リークエレメント/極微小ガス定流量エレメント-品番-SCE-ICF34-01 要見積もり 1×10^-9 (N2) ≦10kPa ≦1×10^-5 (N2) ≦103 kРа ≦9.8% (上流圧力 10kPaの時) 1%以下 (不活性ガス) 6秒以下 (不活性ガス) ≦10^-3 Ра 10 MPa ≦200 ℃ コンダクタンスエレメント:ステンレス焼結金属、ハウジング:SUS316L 電解研磨処埋

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使用用途

#排気処理 #計測機器保護 #半導体製造 #化学反応制御

分離対象

酸性ガス対応 塩基性ガス対応 有機ガス対応 温室効果ガス対応

吸着方式

活性炭型 ハイブリッド型

特殊機能

高温耐性型 高湿度耐性型 超高純度型 長寿命型

濾過精度 µm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 3,000

流量 L/min

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 50,000

最高使用圧力 MPa

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 25

最高使用温度 ℃

-50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 500

最大許容差圧 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ピー・ジェイは、株式会社ピュアロンジャパンの製品を販売する会社です。

2006年に株式会社ピュアロンジャパンの販売部門が独立して設立されました。国内だけでなく、海外への販売も行っています ㈱ピュ...

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  • 本社所在地: 福島県

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