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ベント用フィルター-株式会社ピー･ジェイ

FBA/FBAX-4-02VR | ベント用フィルター
株式会社ピー･ジェイ

全型番で同じ値の指標

濾過精度

0.003μm/0.0015μm

常用圧力

1MPa未満

最高使用温度

400℃

ベーキング温度

400℃

接ガス部材質

SUS316L

継手

1/4"、3/8"、1/2”ストレートチューブ、ガスケットシール、コンプレッション、各種フランジ対応

外形寸法 H (mm)

100.5

この製品について

半導体製造装置に使用される、ロードロック室 (Load lock chamber) や搬送チャンバー (Transfer chamber) 等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻き上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、ピュアロンジャパンのベント用フィルターを使用することで、そのスローベントが不要となり、スループットが大幅に向上します。 全ての材質がSUS316Lで構成されています。耐熱性に優れています。高い濾過精度を有します。形状がコップ型のため先端からのガス噴出が出来ます。

  • 型番

    FBA/FBAX-4-02VR

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ベント用フィルター FBA/FBAX-4-02VRの性能表

商品画像 価格 (税抜) 濾過精度 常用圧力 最高使用温度 ベーキング温度 接ガス部材質 継手 外形寸法 H (mm)
ベント用フィルター-品番-FBA/FBAX-4-02VR 要見積もり 0.003μm/0.0015μm 1MPa未満 400℃ 400℃ SUS316L 1/4"、3/8"、1/2”ストレートチューブ、ガスケットシール、コンプレッション、各種フランジ対応 100.5

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標準通気量 L/min

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 40,000 40,000 - 80,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 40 40 - 55 55 - 65 65 - 100 100 - 150 150 - 200

外径 mm

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 600

高さ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700

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株式会社ピー・ジェイは、株式会社ピュアロンジャパンの製品を販売する会社です。

2006年に株式会社ピュアロンジャパンの販売部門が独立して設立されました。国内だけでなく、海外への販売も行っています ㈱ピュ...

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