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低圧力損失メタルガスフィルター-株式会社ピー・ジェイ

全型番で同じ値の指標

濾過精度

0.003µm/0.0015μm

推奨流量

10~150SLM (各モデル別:流量特性曲線参照)

最高使用圧力

0.98MPa (142PSIG) at20℃

最大許容差圧

0.7MPa (101.5PSIG) at20℃

最高使用温度

460℃

外部漏量

2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 or less

構成部材

ハウジング :SUS316L (内面電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.7μm以下 エレメント:SUS316L

継手

1/4" ガスケットシール (Gasket seal) 、その他 (and others)

外形寸法 H (mm)

56.4

この製品について

フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく、高耐熱性を発揮。窒素ガス (N2) をフィルターIN側圧力0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失はΔ0.05MPaで 90SLMの流量を実現。 定常流・脈動下において濾過精度0.003μm/0.0015μmをCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留りの大幅な向上実現。

  • 型番

    UCD/UCDX-SB-02VR・56.4

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低圧力損失メタルガスフィルター UCD/UCDX-SB-02VR・56.4の性能表

商品画像 価格 (税抜) 濾過精度 推奨流量 最高使用圧力 最大許容差圧 最高使用温度 外部漏量 構成部材 継手 外形寸法 H (mm)
低圧力損失メタルガスフィルター-品番-UCD/UCDX-SB-02VR・56.4 要見積もり 0.003µm/0.0015μm 10~150SLM
(各モデル別:流量特性曲線参照)
0.98MPa (142PSIG) at20℃ 0.7MPa (101.5PSIG) at20℃ 460℃ 2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 or less ハウジング :SUS316L (内面電解研磨処理)
内面粗度:Rmax0.7μm以下
エレメント:SUS316L
1/4" ガスケットシール (Gasket seal) 、その他 (and others) 56.4

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使用用途

#排気処理 #計測機器保護 #半導体製造 #化学反応制御

分離対象

酸性ガス対応 塩基性ガス対応 有機ガス対応 温室効果ガス対応

吸着方式

活性炭型 ハイブリッド型

特殊機能

高温耐性型 高湿度耐性型 超高純度型 長寿命型

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ピー・ジェイは、株式会社ピュアロンジャパンの製品を販売する会社です。

2006年に株式会社ピュアロンジャパンの販売部門が独立して設立されました。国内だけでなく、海外への販売も行っています ㈱ピュ...

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  • 本社所在地: 福島県

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