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ステージ材質
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突き上げピン駆動方法
CAM機構のPULSE MOTOR
突き上げストローク
50mm~105mm (固定)
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ステージ駆動
BALL SCREW+AC SERVO MOTOR
ステージ速度
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設定方法
操作パネル内デジタル設定
クリーナーヘッド
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USCシリーズ取扱企業
プレマテック株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | ステージサイズ | ステージ材質 | 突き上げピン材質 | 突き上げピン駆動方法 | 突き上げストローク | 吸着パッド | ステージ駆動 | ステージ速度 | 設定方法 | クリーナーヘッド | ヘッド幅 | 基板厚み測定 | VCR | アライメント機構 | 除電対策 |
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要見積もり | ~第10世代まで対応 | 各種対応 (Ceramic) | 各種対応 | CAM機構のPULSE MOTOR | 50mm~105mm (固定) | Φ15mm VITON製 | BALL SCREW+AC SERVO MOTOR | 5~600mm/sec | 操作パネル内デジタル設定 | 各メーカー選定 | 有効長+α | 設置 | オプション | オプション | オプション |
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