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■特徴 ・半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/ ■加熱 ・各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱 ・熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適 ・Sサイズ流量10L、Lサイズ流量100L、使用温度300℃対応
接ガス部材質
本体外形寸法 (H×W×D)
加熱可能流体
不活性ガス
最大動作圧力
0.5Mpa
リークレート
1 × 10Pa・㎥ / sec以下
電源
AC100又はAC200
UL499対応
FileNo,E478998
型番
WEX-S*-3*取扱企業
ワッティー株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 加熱可能流体 | 最高使用温度 | 定格流量 | 定格容量 | 最大動作圧力 | 標準継手 | 接ガス部材質 | リークレート | 電源 | 熱電対 | サーモスタット | 本体外形寸法 (H×W×D) | 本体重量 | 結線方法 | 標準付属品 |
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要見積もり | 不活性ガス | 300℃ | ~10L / min | 190W | 0.5Mpa | UJR"1 / 4メス | SUS316L (WEP仕様) | 1 × 10Pa・㎥ / sec以下 | AC100又はAC200 | Kタイプ クラス2 | ブロック型 | 96×102×128 | 約1.2kg | リード線2m |
取付金具×1外装パンチングメタルタイプ |