スパイラルタイプ | IR (赤外線) ヒーターハロゲンヒータースパイラルタイプ
ヒメジ理化株式会社

全型番で同じ値の指標

形状

リングヒーター (リングタイプ)

電圧 (V)

100V

出力 (W)

500/R68

色温度 (K)

2,300

全長 (mm)

φ68

発熱長 () mm

220

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この製品について

スパイラルタイプ
■概要 (一般加熱・真空容器内加熱) ハロゲンランプの発熱管を円形に曲げたリングヒーター、コイル状に曲げたスパイラルヒーター。
円形、円筒対象物の加熱や、大きな円盤状の対象物へリングヒーターを同心円状に配列し加熱します。 (CVD他) 

■用途・円筒形状加熱
・ウエハ加熱
・面状加熱

ハロゲンヒーターについて
■概略・白熱電球から派生した電球型密封式ヒーター。
・発熱体はタングステン (W) を使用。

■用 途・タングステンの融点は3,420℃。　
・種々の温度設定が可能。
・加熱以外の主用途は照明分野。

■構 造・石英管内にコイル状タングステンを密封。
・発熱したコイルが石英管に直接触れないように保持リングで管の中央にコイルを保持している。 (石英ガラスの軟化点は1,600℃) 
・導入部はモリブデン (Mo) 箔による封止構造。 (石英と金属の熱膨張率差による破損を回避) 

■形状直管型・リング状・並列型・2重管構造 等の複雑な形状が製作が可能。

■出力上記記載の箔封止構造により200Vにおいて4,000Wが限界 (20A) 。

■特性・設計温度に達するまで1～2秒程度。
・発熱体の熱容量が少ないので冷却時間も早いので温度制御性に優れている。

■寿命発熱時の色温度によりタングステンコイルへの負荷が変るので寿命が変ります。 

■電動制御・発熱体の温度特性で常温での電気抵抗が少なく起動時に電気容量の6倍の突入電流が発生する。 (2～3サイクル) 。
・制御回路の電気容量を大きくするか、スローアップ制御が必要。
・SCRでの電流制御、スローアップが必要。

型番
スパイラルタイプ

シリーズ
IR (赤外線) ヒーターハロゲンヒータースパイラルタイプ

取扱企業
ヒメジ理化株式会社

カテゴリ

熱源

ヒーター

熱源

非接触ヒータ

光源

近赤外線ヒータ

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