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ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】-株式会社リンテック

VF-0201N | ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】
株式会社リンテック

全型番で同じ値の指標

圧力損失

1.33kPa (500SCCM N2)

耐圧

1MPa (G)

最大消費電力 (120V)

400W

最大消費電力 (240V)

400W

熱電対

K Type 1pc

推奨温調方式

PID

最高使用温度

200℃

サーマルスイッチ

230℃±10℃ Open

リークレート

1×10-11Pa･m3/sec He

接ガス部材質

SUS316L

取付姿勢

自由

重量

4.0kg

この製品について

■製品説明

0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。 半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。

■特長

・0.1µmのろ過精度 ・Max200℃ ・オールメタルのクリーン構造

■使用例

気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。

■シリーズ概要

VFシリーズは、気化システム後方に設置することでパーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。

■シリーズ特徴

・0.1μmのろ過精度 ・Max200℃の加熱に対応 ・オールメタルのクリーン構造 ・異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵

  • 型番

    VF-0201N

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ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】 VF-0201Nの性能表

商品画像 価格 (税抜) 圧力損失 耐圧 最大消費電力 (120V) 最大消費電力 (240V) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 取付姿勢 重量
ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】-品番-VF-0201N 要見積もり 1.33kPa (500SCCM N2) 1MPa (G) 400W 400W K Type 1pc PID 200℃ 230℃±10℃ Open 1×10-11Pa･m3/sec He SUS316L 自由 4.0kg

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標準通気量 L/min

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 40,000 40,000 - 80,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 40 40 - 55 55 - 65 65 - 100 100 - 150 150 - 200

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0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 600

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株式会社リンテック

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ（流量制御機器）、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

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  • 本社所在地: 滋賀県

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