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小型電子部品専用気密検査装置 ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム MSX-0101 series-株式会社フクダ
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返答率

100.0%

返答時間

14.0時間

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検査対象サイズ (mm)

1.2×1.0~2.5×2.0、Φ12~3.2×2.5 ※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります

判別レベル (Pa・m3/s)

グロスリーク:2×10^-7Pa・m3/s (等価標準リーク) ファインリーク:1×10^-9Pa・m3/s (He)

電源電圧・消費電力

AC100V±10%単相50/60Hz・2kVA

空圧源

0.5MPa以上 (JISB8392-1:2012清浄等級1,3,1相当)

ヘリウム源

0.5~1MPa (ボンベからの充填圧による)

外形寸法 (mm)

W1,000×D850×H1,200

搬送

カプセル自動搬入・搬出

CH数

1CH

ALT型式

FL-515

表示器

MI-172T

PF選択

無し

電源電圧

100V

ワーク種類

2種

キャリアタイプ

無し

付加仕様 He校正器

外部校正器 (TL-8)

付加仕様 露点計

無し

付加仕様 エアブースタ

無し

付加仕様 窒素対応

有り

ポンピングチャンバサイズ

80×70mmケース容積最大120mL×2個

使用温度・湿度

湿度5~40℃℃、45~85%RH

この製品について

■小型電子部品専用気密検査装置とは

水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。 密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査を行う必要があります。全行程を一台で行える全自動機や専用機 (特注) 、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。

■ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

ヘリウム浸漬 (ボンビング) 、グロスリーク、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行う装置です。 デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の多品種少量検査用に開発され、グロスリークテストとファインリークテストに一台で対応します。 最小で1210まで可能。MEMS、SMD等の電子部品の漏れ検査に最適。ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備充填時間、放置時間を管理しながらグロス、ファインリーク量を数値化。小型電子部品のリーク検査は、一般的にグロスリークテスト (大漏れ) とファインリークテスト (小漏れ) の2種類の検査が併用されます。 これは大漏れから小漏れの全漏れ領域を計測するからです。本機では、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台で対応できます。

■特徴

・デバイス開発時の試験 ・量産ライン投入前の事前実験 ・多品種少量生産 ・抜き取り検査 ・不良品のデータ分析

  • 型番

    MSX-0101-21510120-2001

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年1月9日にレビュー済み

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小型電子部品専用気密検査装置 ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム MSX-0101 series MSX-0101-21510120-2001の性能表

商品画像 価格 (税抜) 検査対象サイズ (mm) 判別レベル (Pa・m3/s) 電源電圧・消費電力 空圧源 ヘリウム源 外形寸法 (mm) 搬送 CH数 ALT型式 表示器 PF選択 電源電圧 ワーク種類 キャリアタイプ 付加仕様 He校正器 付加仕様 露点計 付加仕様 エアブースタ 付加仕様 窒素対応 ポンピングチャンバサイズ 使用温度・湿度
小型電子部品専用気密検査装置 ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム MSX-0101 series-品番-MSX-0101-21510120-2001 要見積もり 1.2×1.0~2.5×2.0、Φ12~3.2×2.5
※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります
グロスリーク:2×10^-7Pa・m3/s (等価標準リーク)
ファインリーク:1×10^-9Pa・m3/s (He)
AC100V±10%単相50/60Hz・2kVA 0.5MPa以上 (JISB8392-1:2012清浄等級1,3,1相当) 0.5~1MPa (ボンベからの充填圧による) W1,000×D850×H1,200 カプセル自動搬入・搬出 1CH FL-515 MI-172T 無し 100V 2種 無し 外部校正器 (TL-8) 無し 無し 有り 80×70mmケース容積最大120mL×2個 湿度5~40℃℃、45~85%RH

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使用用途

#自動車検査 #配管検査 #空調設備検査 #医療機器検査 #半導体製造検査 #真空機器検査 #タンク気密検査 #バルブ漏れ検査 #家電製品検査 #航空機整備 #水素設備検査 #研究開発試験

精度 %

0 - 1 1 - 5 5 - 20

使用温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 60

電源 V

5 - 50 50 - 150 150 - 250

質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,600

サイクルタイム 秒/個

0 - 1 1 - 5 5 - 30

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14.0時間


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