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検査対象サイズ (mm)
1.2×1.0~2.5×2.0、Φ12~3.2×2.5 ※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります
判別レベル (Pa・m3/s)
グロスリーク:2×10^-7Pa・m3/s (等価標準リーク) ファインリーク:1×10^-9Pa・m3/s (He)
電源電圧・消費電力
AC100V±10%単相50/60Hz・2kVA
空圧源
0.5MPa以上 (JISB8392-1:2012清浄等級1,3,1相当)
ヘリウム源
0.5~1MPa (ボンベからの充填圧による)
外形寸法 (mm)
W1,000×D850×H1,200
搬送
カプセル自動搬入・搬出
CH数
1CH
ALT型式
FL-515
表示器
MI-172T
PF選択
無し
電源電圧
100V
ワーク種類
2種
キャリアタイプ
無し
付加仕様 He校正器
外部校正器 (TL-8)
付加仕様 露点計
無し
付加仕様 エアブースタ
無し
付加仕様 窒素対応
有り
ポンピングチャンバサイズ
80×70mmケース容積最大120mL×2個
使用温度・湿度
湿度5~40℃℃、45~85%RH
型番
MSX-0101-21510120-2001取扱企業
株式会社フクダカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年1月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
52.54時間
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複数社に同じ内容の記入は不要です
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商品画像 | 価格 (税抜) | 検査対象サイズ (mm) | 判別レベル (Pa・m3/s) | 電源電圧・消費電力 | 空圧源 | ヘリウム源 | 外形寸法 (mm) | 搬送 | CH数 | ALT型式 | 表示器 | PF選択 | 電源電圧 | ワーク種類 | キャリアタイプ | 付加仕様 He校正器 | 付加仕様 露点計 | 付加仕様 エアブースタ | 付加仕様 窒素対応 | ポンピングチャンバサイズ | 使用温度・湿度 |
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要見積もり |
1.2×1.0~2.5×2.0、Φ12~3.2×2.5 ※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります |
グロスリーク:2×10^-7Pa・m3/s (等価標準リーク) ファインリーク:1×10^-9Pa・m3/s (He) |
AC100V±10%単相50/60Hz・2kVA | 0.5MPa以上 (JISB8392-1:2012清浄等級1,3,1相当) | 0.5~1MPa (ボンベからの充填圧による) | W1,000×D850×H1,200 | カプセル自動搬入・搬出 | 1CH | FL-515 | MI-172T | 無し | 100V | 2種 | 無し | 外部校正器 (TL-8) | 無し | 無し | 有り | 80×70mmケース容積最大120mL×2個 | 湿度5~40℃℃、45~85%RH |
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使用用途が半導体製造検査の製品
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使用用途
#自動車検査 #配管検査 #空調設備検査 #医療機器検査 #半導体製造検査 #真空機器検査 #タンク気密検査 #バルブ漏れ検査 #家電製品検査 #航空機整備 #水素設備検査 #研究開発試験精度 %
0 - 1 1 - 5 5 - 20使用温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 60電源 V
5 - 50 50 - 150 150 - 250質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,600サイクルタイム 秒/個
0 - 1 1 - 5 5 - 30