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測定モード
リアルモード (実時間計測) 、ストレージモード (サンプリング時間間隔でデータ記録)
測定量
相対的変位量 (1プローブ2出射、2プローブタイプの場合) 、絶対的変位量 (1プローブ1出射タイプの場合)
測定分解能
1nm
応答周波数
サンプリング時間で異なります。DC~1MHz
応答速度
サンプリング時間で異なります。0~310mm／s
サンプリング時間
1μs (ストレージモード) 50ms、100ms、200ms、500ms、1sより選択 (リアルモード)
サンプリング点数
ストレージモード；次の8種より選択 1000k点、750k点、500k点、200k点、100k点、50k点、30k点、20k点、10k点、5k点、リアルモード；任意点数
計測時間
平均化処理点数とサンプリング時間とサンプリング点数より決まる、計測時間＝サンプリング時間×サンプリング点数×平均化処理点数
使用レーザ
周波数安定化HeNeレーザ (FS1M)
出射光量
100μW以上
出射ビーム数
1 (1出射タイプ) 2 (2出射タイプ)
出射ビーム径
出射口にて約0.5mm
出射ビーム拡がり
1.5mrad以下
光周波数制御
周波数シフター (FS1S)
測定対象物反射率
0.5％以上 (条件；プローブ被測定物間距離20cm、被測定物鏡面) 。集光系により、距離が短くなれば測定可能な反射率は下がります。
金属保護管
標準2m (~4m程度まで変更可)
外形
430mm (W) ×460mm (D) ×230mm (H) ；本体、重量15kg
ウオームアップ
45分
使用環境温度
20±5℃
消費電力
AC100V・50/60Hz, 400W (本体)
型番
HV400シリーズ
光計測装置 光ヘテロダイン変位計取扱企業
株式会社フォトンプローブカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定モード | 測定量 | 測定分解能 | 応答周波数 | 応答速度 | サンプリング時間 | サンプリング点数 | 計測時間 | 使用レーザ | 出射光量 | 出射ビーム数 | 出射ビーム径 | 出射ビーム拡がり | 光周波数制御 | 測定対象物反射率 | 金属保護管 | 外形 | ウオームアップ | 使用環境温度 | 消費電力 |
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要見積もり | リアルモード (実時間計測) 、ストレージモード (サンプリング時間間隔でデータ記録) | 相対的変位量 (1プローブ2出射、2プローブタイプの場合) 、絶対的変位量 (1プローブ1出射タイプの場合) | 1nm | サンプリング時間で異なります。DC~1MHz | サンプリング時間で異なります。0~310mm／s | 1μs (ストレージモード) 50ms、100ms、200ms、500ms、1sより選択 (リアルモード) | ストレージモード；次の8種より選択 1000k点、750k点、500k点、200k点、100k点、50k点、30k点、20k点、10k点、5k点、リアルモード；任意点数 | 平均化処理点数とサンプリング時間とサンプリング点数より決まる、計測時間＝サンプリング時間×サンプリング点数×平均化処理点数 | 周波数安定化HeNeレーザ (FS1M) | 100μW以上 | 1 (1出射タイプ) 2 (2出射タイプ) | 出射口にて約0.5mm | 1.5mrad以下 | 周波数シフター (FS1S) | 0.5％以上 (条件；プローブ被測定物間距離20cm、被測定物鏡面) 。集光系により、距離が短くなれば測定可能な反射率は下がります。 | 標準2m (~4m程度まで変更可) | 430mm (W) ×460mm (D) ×230mm (H) ；本体、重量15kg | 45分 | 20±5℃ | AC100V・50/60Hz, 400W (本体) |
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使用用途
#橋梁点検 #構造物変形測定 #精密機械調整 #製品品質管理 #自動車試験 #建築施工管理 #半導体製造装置 #土木工事管理 #電子部品評価測定範囲 mm
0 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000,000応答周波数 Hz
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,000,000使用温度範囲 ℃
-200 - -100 -100 - 50 50 - 100 100 - 150定格出力 mV/V
1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 6 6 - 7 7 - 8非直線性 ％RO
0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5 0.5 - 1.5測定力 N
0 - 2 2 - 4 4 - 7 7 - 17 17 - 31 31 - 60電源 V
10 - 90 90 - 100 100 - 400方式
差動変圧器 ケガキ方式
