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返答率
100.0%
返答時間
134.9時間
スリット軸数
1
スリット可動範囲
0~20mm
外形
75x75x20mm
可動速度
20mm/s
分解能 (Closed loop時)
1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ)
繰返し精度 (Closed loop時)
±40
型番
SFW-6-25.4取扱企業
株式会社フィジックステクノロジー商品画像 | 価格 (税抜) | スリット軸数 | スリット可動範囲 | 外形 | 可動速度 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
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要見積もり | 1 | 0~20mm | 75x75x20mm | 20mm/s | 1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ) | ±40 |
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