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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 赤外線ランプ加熱装置 QHCシリーズ-アルバック販売株式会社

QHC-E410 | 熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 赤外線ランプ加熱装置 QHCシリーズ
アルバック販売株式会社

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室温~1,400℃

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Φ15mm×長100mm

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Φ10mm×80mmL

測定雰囲気

大気中、ガス中、ガスフロー中、真空中 (真空排気系はオプション)

アプリケーション

ロータリーポンプ排気セット 冷却水循環装置 特殊仕様装置で高真空対応も可能

この製品について

■概要

太陽電池から化合物半導体等のプロセス開発に。QHCシリーズは赤外線ゴールドイメージ炉と温度コントローラを組合せ、さらに石英の熱処理チャンバをコンパクトに装備した高速加熱・高速冷却装置です。加熱操作をパソコン上で行え手軽にデータ管理出来ます。

■用途

・太陽電池基板の熱処理 ・水素雰囲気下での熱処理 ・各種材料の基礎研究用雰囲気アニール・熱処理シミュレータ ・ガスクェンチ熱処理 ・熱サイクル試験 熱衝撃試験 ・半導体材料の焼成、アニール条件の検討 ・2インチウェハ研究用アニール ・セラミックスのO₂量制御雰囲気での熱処理

■特長

・高速加熱から低速加熱まで幅広い条件設定 ・多段ステップ サイクル加熱 ・ガス冷却機構による高速ガスクェンチ、クーリングコントロール ・パソコンによる手軽なデータ管理

  • 型番

    QHC-E410

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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 赤外線ランプ加熱装置 QHCシリーズ QHC-E410の性能表

商品画像 価格 (税抜) 温度範囲 熱処理ゾーン 均熱ゾーン (保持時目安) 測定雰囲気 アプリケーション
熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 赤外線ランプ加熱装置 QHCシリーズ-品番-QHC-E410 要見積もり 室温~1,400℃ Φ15mm×長100mm Φ10mm×80mmL 大気中、ガス中、ガスフロー中、真空中 (真空排気系はオプション) ロータリーポンプ排気セット
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炉内容積 L

0 - 5 5 - 10

温度分布

0 - 3 3 - 6 6 - 10

電源電圧

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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