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装置構成
(1) 搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 (2) 真空槽材料は、脱脂処理を施したA5052製を採用
排気系
ドライポンプ 1式
到達圧力
1Pa以下
排気時間
10Paまで18秒以内
アッシング分布
±10％以内
サイクルタイム
45秒 (18枚/カセット、φ4インチ基板) ※参考値となります。
電源系
(1) RF電源 MAX1,000W (13.56MHz) (2) マッチングボックス オートマッチング仕様
ガス導入系
O2ガス用マスフローコントローラ 1式
制御系
(1) シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 (2) 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、エラー履歴を確認可能 (3) レシピ管理、ログ取得を付属のパソコンにて行います
外形寸法 (装置本体)
W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm
装置重量
1,000kg
ユーティリティー (1)
電力：200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA
ユーティリティー (2)
冷却水：20~25℃ 0.36㎥/hr (6ℓ/min)
ユーティリティー (3)
圧空：0.5MPa 20ℓ/min
ユーティリティー (4)
O2ガス：0.05MPa プロセス用
ユーティリティー (5)
N2ガス：0.3MPa 60ℓ/min
ユーティリティー (6)
アース：A種アース
型番
SPE-2136Aシリーズ
プラズマクリーナー SPE-2136A取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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プラズマクリーナの製品39点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 排気系 | 到達圧力 | 排気時間 | アッシング分布 | サイクルタイム | 電源系 | ガス導入系 | 制御系 | 外形寸法 (装置本体) | 装置重量 | ユーティリティー (1) | ユーティリティー (2) | ユーティリティー (3) | ユーティリティー (4) | ユーティリティー (5) | ユーティリティー (6) |
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| 要見積もり |
(1) 搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 (2) 真空槽材料は、脱脂処理を施したA5052製を採用 |
ドライポンプ 1式 | 1Pa以下 | 10Paまで18秒以内 | ±10％以内 |
45秒 (18枚/カセット、φ4インチ基板) ※参考値となります。 |
(1) RF電源 MAX1,000W (13.56MHz) (2) マッチングボックス オートマッチング仕様 |
O2ガス用マスフローコントローラ 1式 |
(1) シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 (2) 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、エラー履歴を確認可能 (3) レシピ管理、ログ取得を付属のパソコンにて行います |
W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm | 1,000kg | 電力：200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA | 冷却水：20~25℃ 0.36㎥/hr (6ℓ/min) | 圧空：0.5MPa 20ℓ/min | O2ガス：0.05MPa プロセス用 | N2ガス：0.3MPa 60ℓ/min | アース：A種アース |
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