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4~6インチ熱酸化膜10000Å (両面) 膜付Siウェーハ 4インチ-株式会社豊港

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この製品について

ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。 下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。

  • 型番

    4インチ熱酸化膜10000Å (両面) 付Siウェーハ

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4~6インチ熱酸化膜10000Å (両面) 膜付Siウェーハ 4インチ 4インチ熱酸化膜10000Å (両面) 付Siウェーハの性能表

商品画像 価格 (税抜) 直径 導電型 抵抗値 厚さ 熱酸化膜厚 数量 面状態
4~6インチ熱酸化膜10000Å (両面) 膜付Siウェーハ 4インチ-品番-4インチ熱酸化膜10000Å (両面) 付Siウェーハ 要見積もり 100±0.2mm P型 1~100Ω·cm 525±25μm 10000ű10% 25枚から ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド

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直径 mm

5 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 600

厚さ um

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000

抵抗率 Ω・cm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000

結晶方位 度

100 - 101 101 - 112 112 - 211

導電型

N/P N P

成長方法

CZ MCZ FZ NTDFZ GDFZ

パーティクルサイズ μm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 110

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会社概要

豊港化学は半導体材料、光学材料、希土類、金属材料およびリチウムイオン電池材料など関連製品を専門に取り扱う企業でございます。...

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  • 本社所在地: 東京都

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