TGMA | ロータリーカソードガスバー
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型番説明

■品名 Tガスバー ■特徴 1500mm以下で、チャンバー内に十分な空間がない場合に勧める小型ガスバー。

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。