SGMA | ロータリーカソードガスバー
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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型番説明

■品名スクウェアチューブガスバー ■特徴各アウトレットのビスの長さを変えることによって、ガス噴出量を調整できる。リアクティブ用分割ガスは、Ar用一体ものガスの上面に設置される。 ■適用チャンバー内が均一に排気されていない場合に勧める。 ■欠点一旦チューブ内にガスをため込むため、反応が1テンポ遅れる。その為、クローズドループ制御には向かない。

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。