BGMA | ロータリーカソードガスバー
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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返答率

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返答時間

9.6時間

型番説明

■品名バイナリ―ガスバー ■ガス分布 ±1.2％以下 ■特徴一つのインレットから1/2その1/2と分岐し、すべてのアウトレットから均一にガスを噴出する。リアクティブ用分割ガスは、Ar用一体ものガスの背面に設置され、ガスカバーによって混合されてチャンバー内に噴出する。 ■適用 PEM等のクローズドループを組む場合や、チャンバー内が均一に排気されている場合に勧める。 ■欠点各アウトレット事のガス調整ができない。

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。